微型真空泵，微型氣泵中，提到的“流量”，也稱為“抽氣速率”。是指在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體體積。常用單位是：L/Min（升/分鐘）。“流量”參數如無特別說明，特指在20℃、標準大氣壓下的“峰值流量”。抽氣速率的提高對生產成本會有所提高，但其增幅不大。
　　
　　真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標，它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力。要提高真空度指標，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更、材料性能更優異的零部件，于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠≥真空度指標的增幅。
　　
　　因此，選擇微型真空泵、微型氣體采樣泵、微型氣體循環泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等多種微型泵時，需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等，這樣才能地兼顧使用性能和成本。
　　
　　高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。例如高負壓的微型真空泵VCH1028，它的真空度可以到10KPa(0.01MPa壓力)，相當于能將一個密閉容器內的氣體抽走90%，只剩下10%，在微型真空泵里就算很高的了。在無刷微型真空泵中，高真空的有VBY2106，體積相當小，真空度可達20Kpa，因為采用的是無刷電機，壽命超長，特別適合長間連續工作的場合。
　　
　　從以上這些參數與性能來看，我公司的微型真空泵與國外同類型的微型真空泵相比，有些參數是相差無幾的，但價格卻比國外的便宜很多，稱得上是價廉物美。