低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到氣態污染物的目的。1980年代，日本東京大學S．Masuda提出的高壓脈沖電暈放電法是常溫常壓下得到低溫等離子體的簡單、的方法。
它已成為目前的研究前沿，也正越來越多的用于氣態污染物的治理。
低溫等離子體去除污染物的機理： 等離子體化學反應過程中，
等離子體傳遞化學的反應過程中的傳遞大致如下：
(1)電場＋電子→高能電子
(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 基團
(3) 基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 基團＋ 基團→生成物+熱 從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得，通過激發或電離將轉移到分子或原子中去，獲得的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活 基團；之后這些活 基團與分子或原子、活 基團與活 基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子體去除污染物的原理： 低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得快速。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。 是否是低溫等離子體處理技術的簡單判斷方法： 現在，各傳媒上宣傳低溫等離子廢氣處理的產品和技術很多，可這些產品的宣傳大部分都是在炒低溫等離子體概念。如何判斷是否是意義上的低溫等離子體技術
？可以用下面兩個簡單的規則來判斷，即使你不懂低溫等離子體技術也能判斷出是真是假。
(1)在廢氣處理的通道上充滿了低溫等離子體。這條規則判斷很簡單，只要用眼睛觀察一下處理通道是否充滿紫藍色的放電就可以直觀的了解是否是低溫等離子體了（需要注意的是不要將各種顏色的燈光當作低溫體放電）。如果在廢氣處理的通道上只零星的分布若干的放電點或線，則處理的是有限的，因為，大部分的(VOCs)氣體沒有進過低溫等離子體處理區域。
(2)低溫等離子體處理系統要有一定的放電處理功率。通常需要在2～5瓦時/米3。即1000米3/時的風量需要處理的電功率為2KW～5KW。如果號稱1000米3/時的風量只需要幾十或幾百瓦的電功率，則多也就是靜電(除塵)處理或局部處理而已。要想VOCs沒有一定的從理論上也是不可能的。
等離子廢氣凈化設備的特點：
1、工藝簡潔：等離子廢氣凈化設備作簡單，方便，無需專人看管，遇故障自動停機。
2、節能：低溫等離子體處理煙氣能耗低，運行費用低廉，2～5瓦時/米3。
3、適應范圍廣：在-60℃~+300℃的環境內均可正常運轉，特別是在潮濕，甚空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。 4、設備使用壽長：本設備由不銹鋼材，石英、鉬等材料組成，性強，在酸性氣體中耐腐蝕。 5、組合性強：低溫等離子體處理設備可以竄并聯混合應用。 6、500～2000米3/時為一個低溫等離子體處理裝置單元，一個單元用一個脈沖電源激勵。 等離子廢氣凈化設備單元規格： 1．輸入電壓：AC380V（或AC220V）（±10） 2．功率：2～5KW/1000米3（2～5瓦時/米3）； 3．主機重量：10KG；變壓器重量：35Kg；低溫等離子體處理裝置重量：10Kg 4．主機和變壓器之間的連線：<5m；
5．主機尺寸：250(W)×200(H)×360(D)mm3
6．變壓器尺寸：230(W)×280(D)×290(H)mm3
7．低溫等離子體體積：處理通道內充滿低溫等離子體
8．工作環境： 溫度：－10℃～+40℃ 相對濕度：20～93（不結露）
9．大氣壓力：86Kpa～106Kpa
10．氣體流速：1～30米/秒
11．處理量：20～20000米3/小時
12．功耗：2～5瓦時/米3
13．凈化氣體升溫：小于5°C
14．壓損：小于300Pa
15．效率：含硫惡臭氣體（H2S，CS2）85，VOC（苯，甲苯，二甲苯）95 低溫等離子體技術在環境工程中的應用： 低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生的危害；另外工業煙氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。
降解揮發性污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此,目前能成熟的掌握該技術的單位的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是意義上的低溫等離子廢氣處理技術。
