超純水設備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計算機硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備。在嚴格執行ISO-9001質量體系標準的前提下,采用世界上的反滲透膜元件。壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設備及后處理設備,使產品出水符合各類電子行業生產標準的超純水。控制系統選用PLC程序控制,可實現自動起停、加藥及沖洗,自動監測各種運行參數,并可實現運行參數的儲存及打印廣泛適用于: 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路 LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管 超純材料和超純化學試劑光導纖維、光盤等。
超純水設備典型工藝流程:
1.預處理系統-反滲透系統-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)
2.預處理系統-反滲透系統-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統工藝)
3.預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(工藝)
4.預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器(0.2或0.5μm)-用水對象(≥17MΩ.CM) (工藝)
5.預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(工藝)
電子行業超純水設備的應用:
●電子工業生產用水,如單晶硅超純水設備、半導體純水處理設備、集成電路塊用水設備、IC芯片封裝用水設備、顯象管用水設備、玻殼超純水處理
●LCD液晶清洗用水設備、光學水處理,光學玻璃清洗用水設備、光電超純水設備
●熱電廠用水、冶金工業用水、化工純水設備、輕工工程用水、汽車制造清洗用水
●制藥純化水、醫療衛生等制造工業用純水。