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SU6600配有VP功能的新型熱場掃描電鏡
日立公司為分析應用推出的新型熱場掃描電鏡，可以提供200nA的探針電流，并且配置了VP功能，可以滿足不導電樣品的無蒸鍍觀測。
特點:
1. zui大200nA的探針電流，可滿足EDX、WDX、EBSP、CL等應用
2. 配有VP功能，可自動實現壓差光闌的安裝和取出
3. 配有二次電子探頭和背散射探頭，可選配ESED
4. 大型分析型樣品室，可方便的安裝多種分析附件
5. 可裝載150mm直徑、40mm高樣品
6. 電腦控制的5軸優中心馬達樣品臺
| 二次電子分辨率 | 1.2nm@30KV 3.0nm@1KV 4.5nm@30KV,150Pa |
| 背散射電子分辨率 | 3.5nm@30KV |
| 放大倍率 | 10~600,000（輸出尺寸127x96mm） |
| 電子槍類型 | 熱場發射 |
| 探針電率 | 1pA~200nA |
| 加速電壓 | 0.5~30KV |
| 物鏡光闌 | 自清潔、4孔可動式 |
| 束閘 | 電磁式 |
| 樣品臺 | 電腦控制的5軸優中心馬達樣品臺 |
| X | 0~110mm |
| Y | 0~110mm |
| Z | 4~40mm |
| T | -5°~+70° |
| R | 360° |
| zui大樣品尺寸 | 直徑150mm x 高40mm |
| 探頭 | 二次電子探頭 背散射電子探頭 |
