晟爾斯sensaras多點超聲波液位計PLS960(PLS9600)的產品描述 

超聲波侵入式多點液位系統主要用于半導體工業中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內高純度化學品液位的高精度和高可靠性的測量。液位系統在化學氣相沉積過程中至關重要，如ALD，CVD，PVD等半導體晶圓制造過程。PLS960系列多點液位系統專業用于檢測非常昂貴的超高純度化學品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金屬化初級粒子等）的準確數量，減少化學廢物，增加產量和利潤。

 產品特點 
 

• 通過超聲波回波處理技術檢測液體在容器中的存在狀態
• 不受被測物的介電常數、顏色、密度和粘度等參數影響
• 探頭采用316L 不繡鋼材質，通過?”或?” VCR與容器連接
• 探頭采用套筒式或叉式結構，一體式設計，無可移動部件
• 模塊與探頭分離，無需校準，易安裝
• 的套管設計可根據用戶不同點位的要求定制

晟爾斯sensaras多點超聲波液位計PLS960(PLS9600)的 主要應用 
 

• 多點液位測量
• 高位/溢出報警
• 低位/停止、再進料
• 半導體行業和醫藥制藥行業

 技術規格 

電路：    輸       入： 24VDC
            輸       出： 每點1A SPDT
                               1A SPDT 報錯點或自動進料/退料
                                本地溫度顯示可選
                                可高達7點液位顯示和報錯顯示
                                針對不同液體也無需校準
            重  復  性： +/- 0.04”(1mm)（典型）
            精        度： +/- 0.06 (1.5mm)
            電流消耗：*大250mA（典型）

探頭：    材        質： 316L不銹鋼
            3/4" VCR連接結構可達到7個液位檢測點
            1/2" VCR連接結構可達到4個液位檢測點
            多于7個點的檢測請與我們聯系，可定制達16個點
            K-type SLE 溫度傳感器（可選）
            *低液位檢測點可置于探頭末端向上5毫米
            兩個液位檢測點*小距離可為2.5毫米
            *大長度： 600毫米，若需更長尺寸與我們聯系
            溫        度： 0° to 125°C (標準)，達 160°C的定制請與我們聯系

 尺寸圖