型號(hào):OTF-1100X-15-III
產(chǎn)品概述:OTF-1100X-15-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐,采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭(安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表)。爐體設(shè)計(jì)為電動(dòng)開啟式。三個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制,可設(shè)置30段升降溫曲線,帶有超溫和短偶保護(hù),控溫精度為+/-0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。
型號(hào) | OTF-1100X-15-III |
爐體結(jié)構(gòu) | ? 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 采用氧化鋁纖維作為爐膛材料 ? 加熱元件:SiC棒 ? 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵,以保證爐膛內(nèi)部溫度均勻性(爐體加熱前,管堵必須塞入到爐管內(nèi)部) ? 此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架裝載) ? 電動(dòng)開啟式設(shè)計(jì),使得用戶操作更加簡(jiǎn)便 結(jié)構(gòu)圖氧化鋁管堵晶片裝載電動(dòng)開啟 |
加熱區(qū) | ? 總加熱區(qū)長度1000mm ? 三個(gè)加熱區(qū): 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone) |
工作溫度 | ? 工作溫度1100℃ ? 加熱速率:10℃/min ? 加熱元件:SiC棒(36根) |
溫控系統(tǒng) | 控溫精度為+/-0.5℃ |
爐管 | ? 15英寸高純石英爐管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID. x 1860mm L ? 注意:石英爐管易碎,操作需謹(jǐn)慎
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真空密封&法蘭 | ? 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭(鉸鏈?zhǔn)剑?個(gè)硅膠密封圈,可使?fàn)t管內(nèi)真空度達(dá)到10^-3torr(采用機(jī)械泵抽真空) ? 左端法蘭:安裝有不銹鋼針閥,Φ6.35的進(jìn)氣口 ? 右端法蘭:KF40真空泵接口Φ6.35鎧裝接口(用于熱偶插入到爐管內(nèi),測(cè)量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)) |
可選 | ? 此管式爐需定期校準(zhǔn),以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性,我們可提供簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具: ·1根1200mm的K型鎧裝熱偶 ·1個(gè)Omega溫度校準(zhǔn)儀表 ·此型號(hào)管式爐只可選用機(jī)械泵,且真空度只能夠抽到-0.05MPa,否則可能造成爐管損傷 ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架 ? 可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用,實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備
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電壓 | ? 三相380V,50/60 Hz |
額定功率 | ? 20KW |
產(chǎn)品尺寸 | ? 2300L x 1500W x 1400 H mm
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凈重 | ? 300kg |
質(zhì)保期 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈) |
質(zhì)量認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件(輸入電源大于24V)都通過了UL/MET/CSA |