PJ80半導體檢查顯微鏡
一、儀器簡介：
1、物鏡轉盤等采用電動切換模式，操作更 加方便快捷。配置 8寸超大移 動平臺，為半導體、FPD 檢測提供的 應用環境。可支持 200mm 晶圓及14 英寸液晶面板的檢查。
2、顯微鏡采用長工作距離復消色差APO物鏡， 2X/NA0.06/WD34, 5X/NA0.15/WD45, 10X/NA0.3/WD34, 20X/NA0.3/WD31（可選50X物鏡NA0.45,WD20.1和100X物鏡NA0.80,WD6）。超長的工作距離帶來更自由的操作空間。特別適合半導體探針，點墨，擦拭，清潔等工站使用。
3、采用全新LED照明系統和光學系統，照明均勻，成像清晰。突破性的大金相機架設計，可承載8英寸超大工作平臺， 平臺面積525mmX330mm， 采用了離合器驅動的手動XY載物臺,移動行程210*210mm。
