美國 entegris 在線氣體過濾器MAX HT
適用于高溫、超純氣體應用的卓的越顆粒過濾。
1.專為高達 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應用而設計
2.整體設計（148 毫米 [5.82 英寸]）是類似過濾器的直接替代品
3.緊湊的尺寸適合許多現有的輸送系統，并提供設計靈活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速啟動氣體輸送
5.低壓差提供穩定且更好的物料輸送
Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器應用：CVD 工具使用點過濾器、熱 N 2應用、TEOS 和高 k 等高溫應用
美國 entegris 在線氣體過濾器MAX HT
適用于高溫、超純氣體應用的卓的越顆粒過濾。
1.專為高達 200°C (392°F) 的高溫 TEOS 和高 k 應用而設計
2.整體設計（148 毫米 [5.82 英寸]）是類似過濾器的直接替代品
3.緊湊的尺寸適合許多現有的輸送系統，并提供設計靈活性和多功能性
4.特殊烘烤可快速啟動氣體輸送
5.低壓差提供穩定且更好的物料輸送
Wafergard® MAX HT 在線氣體過濾器應用：CVD 工具使用點過濾器、熱 N 2應用、TEOS 和高 k 等高溫應用
