| LFHS2 |
運動范圍XY(µm) | 75 |
分辨率XY(nm) | 0,075 |
典型的噪聲基準 XY(nm) | 0,0075 |
的重復性XY(nm) | 0,15 |
線性化(典型的) | 0,02% |
諧振頻率X / Y(Hz) | 3000/2000 |
剛度 (N/µm) | 4/3 |
負載(kg)-水平使用 | 1 |
負載(kg)-垂直使用 | 0,5 |
傳感器 | Silicon HR sensor |
尺寸W x L x H (mm) | 120,8 x 120,7 x 28,5 |
材料 | Al |
電纜長度(m) | 2 |
推薦控制器 | High Speed |