BIO3.100

BIO3.200

BIO3.300

運(yùn)動(dòng)范圍XYZ（µm）

100

200

300

分辨率XYZ（nm）

0,1

0,2

0,3

典型的噪聲基準(zhǔn)XYZ（nm）

0,01

0,02

0,03

的重復(fù)性XYZ（nm）

0,2

0,4

0,6

線性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

諧振頻率X / Y / Z（赫茲）

500/400/400

400/350/300

300/250/250

剛度 X/Y/Z (N/µm)

0,6/0,5/0,5

0,5/0,4/0,4

0,4/0,3/0,3

負(fù)載（kg）-水平使用

1

1

1

負(fù)載（kg）-垂直使用

0,5

0,5

0,5

傳感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

152,5 x 213 x 20,45

152,5 x 213 x 20,45

152,5 x 213 x 20,45

材料

Al or Invar

Al

Al

電纜長(zhǎng)度（m）

2

2

2

推薦控制器

Standard

Standard

Standard