Zeta光學輪廓儀Zeta-600基礎參數

型號：Zeta-600

產品：光學輪廓儀/表面輪廓測試系統/LED pss 圖像處理設備

品牌：Zeta澤塔

簡介：用于PCB/FPC自動計量解決方案

Zeta光學輪廓儀Zeta-600簡介

zeta-600光學輪廓儀是一種全自動非接觸、快速三維測量系統量身打造的PCB和FPC的需求。它可以處理高達610×510mm樣品的各種應用，如孔、粗糙度、導線高度、V-CUT以及膜厚。基于專有的zdot™的zeta-600圖像分析技術，對各類樣品的表面特征：光滑到粗糙，低反射率，反射率高，透明到不透明。

zeta-600簡單操作

zeta3d軟件具有簡單和直觀的用戶界面，數據采集和分析。工程師和運營商的一個簡短的學習曲線，以更好的生產力。

zeta-600全自動和快速

全集成，全自動化，一鍵式計量解決方案。高分辨率的三維光學輪廓儀小于36秒，每測量。通孔、粗糙度、導線高度、V-CUT及膜厚不卸載樣品和移動到一個新的工具的需要量

610mmx510mm樣品的zeta-600最多可以處理610mmx510mm樣品。它非常適合PCB/FPC計量需求。

Zeta光學輪廓儀Zeta-600技術規格

1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭

2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭

3靜態重復性基于VLSI 0.94μm臺階高度標準，100X / 0.9n

目的，壓階段，與標準zdot成像模式

技術規格：zeta-600

尺寸（mm） 系統（寬）：1003 x 1003 x 1667

重量：500磅（278kg）

zeta-600操作規范

電壓：100 - 230伏

電流：4A

操作溫度：18-30°C，非冷凝，±°C每小時1

Zeta-600系統的特點

相機選項：1024x768 1280x960，1920x1440

放大倍數：25000x結合光學與數字

照明：兩（2）超亮白光LED

機動化階段：610×510mm XY旅游

Z軸行程：40mm

隔振：內置

真空（可選）：600毫米汞柱

Zeta-600性能規格

計量：＜36秒/網站（zdot™）

電影：每個網站~ 3秒（ZFT）

像素分辨率：0.09μ

民z-step：2 nm與壓電階段13納米標準Z驅動

z軸分辨率：1?zsi選項

13納米標準zdot

±Z精度：0.5%

repeatability1：±30 nm（1σ）