低溫等離子廢氣處理設備具有使用壽命：使用壽命長。投入和維護費用：一次性投入成本較高，后期維護成本少。二次污染：無二次污染。兼具物理效應、化學效應和生物效應，處理的特點。低溫等離子廢氣處理設備當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得氣體分子。同時產生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性的O3，與氣體分子發生化學反應，終生成產物。使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子   物質害的物質，或使物質轉變成   無從而使污染物得以降解去除。低溫等離子技術是在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間   足夠打開一些氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或分子；二是等離子體中包含大量的   電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。

熱力燃燒法　

在高溫下惡臭物質與燃料氣充分混和，實現   燃燒適用于處理、小氣量的可燃性氣體　凈化，惡臭物質被   氧化分解設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染，催化劑中毒。

掩蔽法　

采用   強烈的芳香氣味與臭氣摻和，以掩蔽臭氣，使之能被人接收適用于需立即、暫時地低濃度惡臭氣體影響地場合，惡臭強度2.5左右，無組織排放源可盡快惡臭影響，靈活性大，費用低惡臭成分并沒有被去除，麻痹了對原有污染物的感知。

低溫等離子體工業廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子   分解且處理能耗低等特點，是目前大氣污染治理中富有前景、行之   的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業甲醛類廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。