產(chǎn)品介紹
FemtoLAB 是一款飛秒激光微加工工作站。需要為各種任務定制解決方案的科學實驗室和研發(fā)部的好選擇。FemtoLAB 激光工作站提供亞微米分辨率的組合激光微加工工藝，可執(zhí)行多種應用。
性能特點
- 制造具有亞微米分辨率的復雜物體
- 高速高精度微加工
- 光束傳輸和功率控制效率高
- 工業(yè)級飛秒激光器
- 高性能檢流計掃描儀
- 物體運動與激光脈沖時空同步
- 的軟件界面控制所有硬件單元
技術參數(shù)
- 產(chǎn)地：立陶宛
- 推薦材料：所有材料：玻璃、藍寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。
- 激光：高功率超短脈沖紅外、綠光、紫外激光
- 樣本量：兼容 160 mm x 160 mm 的設計
- 最小特征尺寸：200納米
- 定位系統(tǒng)：XYZ 機械軸，定位精度 +- 0.3 μm，具有連續(xù)晶圓級圖案化
- 掃描系統(tǒng)：適用于所有激光波長的振鏡系統(tǒng)
- 樣品處理：手動與自動對齊
- 尺寸（長 x 寬 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm
- 重量：1100kg
- 電源：2x 220 VAC, 16 A
產(chǎn)品參數(shù)
