叉指微電極因其微小的電極間距結(jié)構(gòu)可用于各種小型化傳感器。對(duì)于傳統(tǒng)分析檢測(cè),包括色譜法、光譜法、質(zhì)譜等方法,大多都需要昂貴的儀器和多種操作步驟,使得許多實(shí)際問(wèn)題仍面臨困難。開(kāi)發(fā)高靈敏度、低成本,小型化的傳感器尤為重要。本文綜述了叉指微電極的研究進(jìn)展,介紹了基于叉指微電極的傳感器在各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。
小型真空探針臺(tái)鄭科探 KT-Z4019MRL4T是一款高性?xún)r(jià)比配置的真空高低溫探針臺(tái),功能,價(jià)格較低等特點(diǎn)。高溫400℃ 低-196℃ 測(cè)試噪聲小于5E-13A 可擴(kuò)展上下雙透視窗口用于光電測(cè)試 可擴(kuò)展凹視鏡。公司致力于各類(lèi)探針臺(tái),(包括手動(dòng)與自動(dòng)探針臺(tái)、雙面探針臺(tái)、真空探針臺(tái)、)、顯微鏡成像、光電一體化的技術(shù)研發(fā),擁有國(guó)內(nèi)專(zhuān)業(yè)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì),在探針臺(tái)電學(xué)量測(cè)方面擁有近十年的經(jīng)驗(yàn)團(tuán)隊(duì)。
微電容單通道叉指電*低溫探針臺(tái)
微電容單通道叉指電*低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T
真空腔體 | ||
類(lèi)型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | |
樣品臺(tái) | ||
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm) | |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100 (可選K S B型熱電偶) | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針(可擴(kuò)展5探針) | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選) | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)) | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿) | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿) |