射頻真空滾筒離子清洗機(jī),
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
射頻真空滾筒離子清洗機(jī)KT-S2DQX-C
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | Φ100mmX200mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 20轉(zhuǎn)/分鐘 |
氣體流量 | 0—300ml/min |
過程控制 | 觸摸屏自動(dòng)控制+手動(dòng)調(diào)節(jié)流量 |
清洗時(shí)間 | 手0-999秒 |
外形尺寸 | 615X390X560mm |
重量 | 56Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
真空計(jì)量程 | 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空計(jì)) |
標(biāo)配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。 |