等離子清洗機作為一種微觀固體表面的處理設設備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔等目的。
等離子清洗機主要應用于半導體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
內置高純石英倉體,采用了新型的電極結構設計和固態電源技術,使其有效容積增大,不同真空 氣體環境下容易匹配,且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作,特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。
技術資料;
設備型號 | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX |
控制方式 | 7寸觸摸屏人機界面 | 7寸觸摸屏人機界面 | 7寸觸摸屏人機界面 |
供電電源 | AC220V(AC110V可選) | ||
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) | ||
射頻電源功率 | 1000W | 150W | 300W |
匹配方式 | 自動匹配 | 手動匹配 | 自動匹配 |
清洗頻率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 電容耦合 | ||
工作真空 | ≤50Pa | ||
腔體材質 | 高純石英 | ||
腔體容積 | 2L(內徑110MMX深度220MM) | 2L(內徑110MMX深度220MM) | 5L(內徑160MMX深度310MM) |
觀察窗內徑 | Φ50 | Φ50 | Φ70 |
氣體流量 | 0-300ml/min(熱式質量流量傳感器X2個) | ||
真空計量程 | 1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空計) | ||
過程控制 | 手動/自動切換 | 手動/自動切換 | 手動/自動切換 |
清洗時間 | 自動開關 | ||
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 | ||
外形尺寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg |
真空室溫度 | 小于65°C | ||
冷卻方式 | 強制風冷 | ||
標配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。 |