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顯微分光膜厚儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號OPTM 系列
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/4/12 12:29:07
  • 訪問次數280
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北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的高科技企業。卓立漢光自1999年起,通過十年的不斷努力,成長為光電儀器廠商。目前公司的電控位移臺、手動位移臺、光學調整架等產品已經形成產品系列化,規格多元化,國內多家科研單位、激光加工設備廠商、光纖設備廠商在使用我們的產品。2000年推出國內*套量產型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測器光譜響應、太陽能電池檢測等光譜測量系統,廣泛應用在眾多高校和科研院所的研究與試驗,為國家科技創新貢獻了一份力量,產品憑借優良的品質遠銷歐美、東南亞等海外市場。 2005年10月在同行業中*通過ISO9001質量管理體系SGS認證。
         卓立漢光主要生產經營:光譜儀、光譜測量系統、光量測儀器、電控精密位移臺、手動精密位移臺、光學調整架、光學平臺、光學元件等系列產品。
         我們誠心聆聽用戶的需要與批評,作為不斷改進的動力,能讓您滿意卓立漢光的產品及服務,就是我們較大的成就。因此我們以卓立漢光的光機產品提供 “終身保固” 的承諾,來表達我們對產品的信心。我們堅持從設計、零件選型、制造、裝配、檢驗、包裝、運輸、直到售后服務做好*質量保證,就是要讓您 “付有所值”,以合理的價位得到優質的產品,這是我們對您選擇卓立漢光真誠的回報。
        卓立漢光始終以滿足用戶需求為宗旨,分別于上海、 成都、 深圳設立分公司,為用戶提供及時周到的銷售與技術服務。“研發創新、快速反應、優質服務” 是我們的經營理念, 公司*重視優質高效、Z短時間為客戶開發產品及提供技術支持。卓立漢光真誠的希望與國內外同仁攜手合作,為推動我國光電產業迅猛發展做出貢獻。
                   
             

太陽能電池測試儀器(系統)、LED檢測儀器(系統)、光譜儀、光譜測量系統、光量測儀器、電控精密位移臺、手動精密位移臺、光學調整架、光學平臺、光學元件
OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區域內通過反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件。
顯微分光膜厚儀 產品信息
產品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
通過顯微光譜法測量高精度反射率(多層膜厚度,光學常數)
1點1秒高速測量
顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)
區域傳感器的安全機制
易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析
獨立測量頭對應各種inline客制化需求
支持各種自定義
 
OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表
 
OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時間 1秒 / 1點
光斑大小 10μm (*小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘燈+鹵素燈   鹵素燈
電源規格 AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分)
重量 約 55kg(自動樣品臺規格之主體部分)
 

測量項目:

反射率測量
多層膜解析
光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

 

測量示例:SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態來發送信號,但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數的絕緣膜,或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制,有必要測量這些膜厚度。

 
關鍵詞:傳感器
15168338725
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