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環保APP正式上線

熱阻/電子束蒸發鍍膜機設備

參考價10-280/臺
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京中科復華科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號MEB-600/80
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/4/9 10:05:51
  • 訪問次數333
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北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業在廣范圍、高層次上提供服務。

電子束曝光系統,刻蝕設備,鍍膜設備,光刻機
產地 國產
電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用
熱阻/電子束蒸發鍍膜機設備 產品信息

應用方向:科研與教學

產品優勢:多功能,電子槍+熱阻蒸發,膜厚監控

產品配置:

樣片數量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)

蒸發材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。

蒸發腔體:高真空系統。

蒸發不均勻性:≤±3%-±5%

工件架:可旋轉,轉速可調

加熱:常規加熱

電子槍:E型,帶XY偏轉掃描

電子槍坩堝:6穴,17cc

膜厚監控功能:石英晶控膜厚在線監測與終點控制

清洗功能:可選配離子源清洗

器件一次成型復合實驗系統:通過復合mask系統與樣品對準系統,一次完成器件的多個工藝步驟

檢測與控制光學特性功能:可選配光控儀

操作模式:全自動+半自動控制

類似產品: 大樣片蒸發鍍膜(MEB-800)


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