應用方向:科研與教學
產品優勢:多功能,電子槍+熱阻蒸發,膜厚監控
產品配置:
★樣片數量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發腔體:高真空系統。
★蒸發不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉,轉速可調
★加熱:常規加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監控功能:石英晶控膜厚在線監測與終點控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復合實驗系統:通過復合mask系統與樣品對準系統,一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動+半自動控制
類似產品: 大樣片蒸發鍍膜(MEB-800)