儀器簡介

等離子清洗機是一種小型的非破壞性表面處理設備，它是采用能量轉換技術，在一定真空負壓的狀態下以電能將氣體轉化為活性的等離子體，等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結構的改變，從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗，在極短時間內有機污染物就被外接真空泵抽走，其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下還能使樣品表面特性發生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質，所以能有效避免樣品的再次污染。等離子清洗機既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對樣品進行消毒和殺菌。

應用領域

等離子清洗技術現已廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子、生物醫學、微觀流體學等領域。

儀器構造

正面示意圖

 背面示意圖

1—機箱；2—耐熱玻璃清洗艙；3—清洗艙門；4—總電源開關

5—五寸觸摸屏；6—流量調節閥Ⅰ；7—流量調節閥Ⅱ

8—選配清洗氣源進氣口Ⅲ、Ⅳ；9—散熱風扇；10—電源輸入插孔

11—真空泵抽氣口；12—真空泵接線口；13—清洗氣源進氣口Ⅰ、Ⅱ

技術指標

1、功能特點

1.1采用5寸彩色觸摸屏操作界面，人機交互操作方便，界面友好；

1.2微電腦控制整個清洗過程，全自動進行；

1.3手動、自動兩種工作模式；

1.4采用電子流量計+手動微調閥的氣路控制模式，標配雙氣路，最多可配置四氣路；

1.5可選擇氣體質量流量計（選配，最多4路氣體）

1.6弧形等離子激發板，等離子激發能力更強；

1.7安全保護，氣壓閾值，切斷高壓；

2、技術參數

2.1艙體尺寸：D270*?150mm

2.2艙體容積：5L

2.3射頻電源：40KHz

2.4激發方式：電容式

2.5射頻功率：10~300W

2.6氣體控制：電子流量計+旋鈕式微調閥

2.7產品尺寸：L460*W455*H237mm

2.8真空泵抽速：

2.9真空度：100Pa以內

2.10電源：AC220V50-60Hz