美國PMS顆粒儀
高科技制造工藝通常需要高純氣體。高壓氣體探測系統HPGP-101-C可在線壓下為工藝氣體提供可依賴的在線污染監測。
HPGP與大多數無毒氣體兼容，可用于許多反應性氣體監測應用中
PDS-E(粒子數據系統-以太網)收集和報告HPGP-101-C探測器捕獲的數據。
優點
降低成本
· 工藝氣體分配系統的速度限定
· 在影響產量之前測定氣體中的顆粒。
· 與氧，氫和大多數無毒氣體兼容
改進過程控制
· 驗證氣體質量
· 檢測過程是否異常
· 量化系統變化的影響
· 準確的粒度
· 便利的網絡數據管理軟件，用于全面數據存儲，管理，報告和警報
可靠性
· 被動腔式設計不需要經常維護
· 與其他系統不同，HPGP不需要監測流體
· 惰性氣體吹掃，確保安全
· 如氣體泄漏到安全艙，切斷電源
功能
· 0.1 SCFM時具備0.1μm靈敏度
· 8個粒子通道
· 40-150 psig的線壓
· 被動激光腔
· 并行處理陣列檢測系統
· 安全艙
· 同時進行雙重探測操作
· 氧氣和氫兼容性
應用
· 氣體分配系統的限定
· 過程氣體監測
· 反應性氣體監測
美國PMS顆粒儀
規格參數
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我們是日本大為在中國的兄弟公司，目前國內半導體設備的廠商都是我們的客戶。
我們的產品包括反應器/半導體設備/氣柜/化學品柜制造中的部件、焊接設備、切割設備、耗材、檢測設備、流體元件、五金配件等。
上海利布迪公司經營的產品和品牌包含但不限于：
流體元件：
日本富士金FUJIKIN，美國Aptech，韓國Unilok，以色列哈姆雷特HAMLET，美國Presair壓力開關，以及潔凈系列不銹鋼管道等。
壓力溫度：
美國PalmerWahl 圓盤壓力溫度記錄儀及溫度計系列產品, 日本岡崎OKAZAKI超低溫溫度計等；
工業材料：
日本預磨鎢針，專業供應用于美國世偉洛克Swagelok，美國AMI，德國歐比泰姆Orbitalum，美國眼鏡蛇MK等自動焊機；V+V不銹鋼材料，銅合金材料，半導體耗材等；
制造與檢測：
半導體設備及配件，進口自動焊機，日本ACCESS PFA焊接機，無毛刺切割機，日本Lasertec激光顯微鏡，美國SIGHTPIPE管焊縫光學檢查內窺鏡，美國鷹眼HAWKEYE內窺鏡，日本奧林巴斯內窺鏡，日本VCR限流墊片/孔板，英福康INFICON氦檢儀等。
