特點:
·0.1和0.2µm的標準顆粒尺寸,可在0.1和5.0µm范圍內定制
·的流量控制和動態的入口壓力調節具備極快的清潔和恢復時間
·高流速保證了快速的清洗時間
·的流量調節,一體化設計保證了低維護量
·激光能量診斷,顆粒計數軟件和的可追溯NIST標準4-20mA輸出
應用:
·電子半導體制造超純水系統顆粒計數檢測
性能:
·測量粒徑尺寸(µm):0.1,0.2 系統流速>1L/min
·樣品流速: 10ml/min,
·樣品壓力設置;30-100psig
·光源采用激光二極管