等離子廢氣除臭凈化器低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。
等離子廢氣除臭凈化器等離子體化學反應是等離子體廢氣凈化器的核心技術，利用等離子體化學反應能夠高效地將廢氣進行分解和氧化處理。等離子體化學反應是指利用等離子體激發分子或原子中的電子，使其處于高能態，從而引發一系列的反應過程。等離子體化學反應可以在常溫常壓下進行，不需要添加額外的化學物質，具有高效、環保、節能等優點。
等離子體源是產生等離子體化學反應所必需的設備，等離子體廢氣凈化器通常采用非平衡輝光放電等離子體源。這種等離子體源可以產生較高的電子密度和電子能量，從而能夠有效地激發廢氣中的分子或原子中的電子。非平衡輝光放電等離子源還具有體積小、功耗低、壽命長等優點。
等離子體反應器是等離子廢氣凈化器中對廢氣進行分解和氧化處理的核心部件，其主要原理是通過等離子體化學反應將廢氣分解成無害物質。等離子體反應器通常由等離子體源、反應室、電極、高壓電源等組成。反應室內部通常采用不銹鋼材料，在內部布置一定數量的電極，形成等離子體反應區域。
