低溫等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。 本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，提高等離子體區激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果*。

去除污染物機理

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→高能電子

(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

去除污染物的原理

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有強潛在優勢的，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

在環境工程中的應用

低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生危害；另外工業煙氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。

降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是意義上的低溫等離子廢氣處理技術。