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日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監控橢偏儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海亨東儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/2/18 14:51:15
  • 訪問次數240
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上海亨東儀器有限公司是一家專注于儀器儀表、環保設備、檢測設備、電氣設備、五金工具、機械設備及配件、化工原料的開發,代理,銷售和服務工作。供應HACH哈希COD試劑,WTWBOD測定儀,哈納HANNA離子劑,Lovibond BOD測定儀,Lovibond色度儀等產品。公司擁有強大的專業技術服務支持隊伍,的銷售工程師,完善的售后服務體系,讓服務更專業、更經濟!上海亨東儀器有限公司在儀器領域擁有多年的研發和市場推廣經驗,并與一些院校和科研單位有著長期良好的合作關系.上海亨東儀器有限公司主要提供如下產品:水質分析儀品牌及檢測項目美國哈希HACH,德國WTW,意大利HANNA,德國LOVIBOND、德國賽多利斯、瑞士梅特勒。 PH計/酸度計、電導率測定儀、溶解氧測定儀、水質離子測定儀、濁度測定儀、水質硬度計、化學需氧量COD/生化需氧量BOD快速測定儀、余氯總氯比色儀、總氮總磷分析儀、非分散紅外測油儀/油分儀、農藥殘毒速測儀、土壤養分速測儀、紫外可見分光光度計、水質采樣器、負離子濃度測試儀、電子天平等。水質分析儀品牌及檢測項目嘉興紅聲,杭州愛華,嘉興恒升,美國NK等。噪聲、振動、氣象、風速、電磁輻射及放射性監測分析;電子安規測試;工業生產檢測;以及工業衛生和食品安全等各種用途的儀器儀表等。檢測設備、電氣設備品牌及檢測項目日本日置、美國luyor、中國臺灣固緯、德圖TESTO、日本圖技GRAPHTEC紅外測溫儀、涂層測厚儀、測振儀、轉速表、測溫儀、激光測距儀、測力計、兆歐表、萬用表、鉗形表、示波器、數字示波器、信號源、電源、頻譜分析儀、功率分析儀、等測試儀器.
日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔(PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE),實時監控薄膜沉積或刻蝕過程。
日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監控橢偏儀 產品信息



  • 高速、準確
  • 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包
  • 便于在線和離線間切換


可獲得的信息

  • 薄膜厚度
  • 光學常數(n,k)
  • 材料組成





UVISEL Plus在線監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔(PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE),實時監控薄膜沉積或刻蝕過程

UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態范圍寬和準確等優點,使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕,即使過程速度比較快也可實現。

采用新型適配器組件可以實現臺式設備和在線系統的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動,該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多的建模和擬合處理功能,操作界面簡單,可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。的通訊協議,TCP/IP和RS232已被設計用于生產環境和OEM。


  • 光譜范圍:190-885 nm,可擴展至 190-2100 nm
  • 光源:75W氙燈或150W氙燈
  • 探測系統:單點或實時光譜采集使用高靈敏度,寬動態范圍的PMT探測器和掃描單色儀,原位監控薄膜沉積/蝕刻
  • 光斑尺寸@300:50μm , 100μm & 1mm
  • 機械適配器:CF35或KF40法蘭




關鍵詞:橢偏儀
15700106413
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