用于缺陷分析和大型樣品研究的納米計量工具
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準確性，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。
概述
大全面的分析功能
Park NX20具備無二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。。
即便是次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。
技術特點
為FA和研究實驗室提供精確的形貌測量解決方案
樣品側壁三維結構測量
NX20的創(chuàng)新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所的。
對樣品和基片進行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一，能夠帶來精確的失效分析和質量保證。
高分辨率電子掃描模式
QuickStep SCM
的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡
多種的技術幫助顧客減少測試時間
CrN樣品所做的針尖磨損實驗
AFM測量
低噪聲Z探測器測量準確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間。
- 使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量。
- 在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。
- 沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
- 終身無需校準，減少設備維護成本
Park NX系列原子力顯微鏡
傳統(tǒng)的原子力顯微鏡
Park NX20特點
低噪聲XYZ位置傳感器
行業(yè)的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
自動多點掃描
借助驅動樣品臺，步進掃描可編程步進掃描,多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：- 掃描成像
- 抬起懸臂
- 移動驅動平臺到設定位置
- 進針
- 重復掃描
該自動化功能可大大減少掃描過程中人工移動樣品所需時間，從而縮短測試時間，提高生產(chǎn)率。
滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式
您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置，同時與復位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。
高級掃描探針顯微鏡模式和選項的擴展槽
只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設計，其生產(chǎn)線設備兼容性得到大大提高
高速24位數(shù)字控制器
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。 該控制器是個全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設計和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級研究員的。
XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率
- XY軸（50 μm）的分辨率為0.003nm
- Z軸（15 μm ）的分辨率為0.001 μm
嵌入式數(shù)字信號處理功能
- 三通道數(shù)碼鎖相放大器
- 彈簧系數(shù)校準（熱方法）
- 數(shù)據(jù)Q控制
集成式信號端口
- 專用可編程信號輸入/輸出端口
- 7個輸入端口和3個輸出端口
高速Z軸掃描器，掃描范圍達15 µm
借助高強度壓電疊堆和撓性設計，標準Z軸掃描器的共振頻率高達9kHz(一般為10.5kHz）且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸掃描范圍可從標準的15 µm擴展至30 µm（可另選Z掃描頭）。
集成編碼器的XY自動樣品載臺
編碼器可用于所有自動樣品載臺，并可保證更高的重復定位精度，從而可更精確地控制樣品測量位置。XY馬達運動工作時分辨率為1 µm，重復率為2 µm。Z馬達運動的分辨率為0.1 µm，重復率為1 µm。
操作方便的樣品臺
借助的鏡頭設計，用戶可從側面操作控樣品和探針。根據(jù)XY軸樣品臺所設定的行程范圍，用戶在樣品臺上可放置的樣品體積為直徑200 mm。
結合了集成LED照明的同軸高倍顯微鏡
超長工作距離的定制物鏡（工作距離50mm, 數(shù)值孔徑0.21，分辨率1.0 μm ）帶來的鏡頭清晰度。直視同軸設計使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標區(qū)域。EL20x的長行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7 μm的高分辨率。
自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)
高度限行Z軸移動和聚焦系統(tǒng)，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進行操作，由高精度步進電機驅動，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。
