378系列--半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS-70的特點
1.此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的FS60型(后升為FS70型)而開發(fā)的。它作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
2.FS70L支持3種YAG激光波(1064nm,532nm,355nm),F(xiàn)S70L4支持2種波長(532nm,266nm),可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴大了激光的使用范圍。然而,使用三豐量具對顯微鏡的激光穖的性能和安全性,三豐公司不負責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器時應(yīng)仔細檢查。
3.FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有:亮視場,微分干涉對比(DIC)和偏振觀測。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
5.極易操作的設(shè)計:FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)(視場中的像與樣品方向相同)并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。
378系列--半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS-70的性能參數(shù)
型號 | FS-70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | JS70L4-TH | ||||||||||
貨號 | 378-184-1 | 378-184-3 | 378-185-1 | 378-185-3 | 378-186-1 | 378-186-3 | 378-187-1 | 378-187-3 | ||||||||||
短基座型號 | FS70-S | FS70-THS | FS70Z-S | FS70Z-THS | FS70L-S | FS70L-THS | FS70L4-S | FS70L4-THS | ||||||||||
貨號 | 378-184-2 | 378-184-4 | 378-185-2 | 378-185-4 | 378-186-2 | 378-186-4 | 378-187-2 | 378-187-4 | ||||||||||
對焦 | 50mm行程,同心焦距粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)手輪(左、右0) | |||||||||||||||||
圖像 | 正像 | |||||||||||||||||
瞳距 | Siedentopf型、調(diào)節(jié)范圍 | |||||||||||||||||
視場數(shù) | 24 | |||||||||||||||||
俯角 |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° |
| 0°至20° | ||||||||||
透過率 | 50/50 | 100/0或0/100 | 50/50 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | 100/0或0/100 | ||||||||||
管鏡頭 |
| 內(nèi)置激光射線濾光片 | ||||||||||||||||
適用激光 | 1× | 1× | 1× | 2×zoom | 1× | 1× | 1× | 1× | ||||||||||
適用激光 |
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| 1064/532/355mm | 532/355mm | ||||||||||||
相機端口 | C-mount(使用適配器B選件) | 使用帶有電視端口的激光片 | C-mount插座(帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān)) | |||||||||||||||
照明系統(tǒng)、可選 | 亮視場反射照明(科勒照明、帶光圈) 12V 100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長度:1.5m、功耗150W | |||||||||||||||||
物鏡、可選 | M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||||||||||||
物鏡、可選 |
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| M/LCD Plan NIR M/L CD Plan NUV | M Plan UV | M Plan UV | |||||||||||
載重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | ||||||||||
重量(主機) | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg |
378系列--半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS-70的技術(shù)參數(shù)
對焦
方法:有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪(左和右)
范圍:50mm測量范圍,微調(diào)0.1mm/rev同心粗調(diào)3.8mm/rev
三目鏡筒圖像:正像
瞳距:Siedentopf型
調(diào)節(jié)范圍:51-76mm
視場數(shù):24
俯角:0°-20°(僅用于-TH,THS型號)
照明系統(tǒng):亮視場反射照明(科勒照明、帶光圈)
光源:12V100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié) ),光導(dǎo)長度1.5m、功耗150W
物鏡(選件):M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo