智能型多功能橢偏儀產品特點:
1、一鍵式操作,直接報告輸出
2、液晶調制技術,測量光路中無運動部件
3、CCD探測系統,快速全譜輸出
4、多個微光斑尺寸選擇,可視技術
5、多角度測量
6、可實現在線測量配置
橢圓偏振儀技術參數:
1、光譜范圍:450-1000nm
2、多種微光斑自動選擇
3、光斑可視技術,可觀測任何樣品表面
4、CCD探測器
5、自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
6、自動調節; Z軸高度>35mm
智能型多功能橢偏儀Smart SE采用多功能性設計,配置靈活,具備多角度測量能力,可方便實現在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單,快速,精確表征和分析的工具。