1.用于低載荷測量的的計量型納米壓痕測試儀
的主動表面參比技術:參考參比針尖記錄樣品的表面位移位置,同時針尖壓痕完成測量,以此扣除熱漂移和框架剛度影響。
UNHT3 可測量他人估計的結果:兩個獨立式位移和載荷傳感器可真正可靠地控制載荷和壓入位移。
量程:從小壓入位移(幾納米)到大壓入位移(高達 100 μm),從低載荷(10 μN)到高載荷(100 mN)
的主動表面參比技術:參考參比針尖記錄樣品的表面位移位置,同時針尖壓痕完成測量,以此扣除熱漂移和框架剛度影響。
UNHT3 可測量他人估計的結果:兩個獨立式位移和載荷傳感器可真正可靠地控制載荷和壓入位移。
量程:從小壓入位移(幾納米)到大壓入位移(高達 100 μm),從低載荷(10 μN)到高載荷(100 mN)
2.市場上穩定性的納米壓痕測試儀
熱漂移低至 10 fm/sec,可忽略,無需進行任何修正
的蠕變測試過程的長期穩定性
即使在高載荷下也保持高框架剛度 (>108 N/m)
的 ZerodurÒ 材料沒有熱膨脹性,因此消除了測量過程中溫度變化的影響
熱漂移低至 10 fm/sec,可忽略,無需進行任何修正
的蠕變測試過程的長期穩定性
即使在高載荷下也保持高框架剛度 (>108 N/m)
的 ZerodurÒ 材料沒有熱膨脹性,因此消除了測量過程中溫度變化的影響
3.“快速點陣”壓痕模式帶“模板”模式
采用“快速點陣”壓痕模式的快速測量點陣:每小時測試量高達 600 次,符合 ISO14577 儀器化壓入測試 (IIT) 要求
全新“模板”模式可用于從自動數據導出并創建更快速靈活的分析
定義自動測量的測量模板和多樣品管理
4.高精度的納米壓痕測試儀用于進行準確的表面檢測
超靈敏表面接觸點判定包含接觸剛度判定
測量凝膠和硬質材料
載荷分辨率為 0.003 µN
載荷本底噪音小于 0.05 µN
位移分辨率為 0.003 nm
位移本底噪音小于 0.03 nm
5.內置多功能:多種測試和分析模式
多種測試模式:連續多周期 (CMC)、恒應變速率、用戶自定義、高級點陣
動態力學測試 (DMA)包含“正弦”模式
各種不同機械性能的分析:硬度、彈性模量、儲能和損耗模量、蠕變、應力 - 應變、赫茲應力分析
環境控制:真空、液體、溫度和相對濕度
多種測試模式:連續多周期 (CMC)、恒應變速率、用戶自定義、高級點陣
動態力學測試 (DMA)包含“正弦”模式
各種不同機械性能的分析:硬度、彈性模量、儲能和損耗模量、蠕變、應力 - 應變、赫茲應力分析
環境控制:真空、液體、溫度和相對濕度
典型應用
聚合物的粘彈特性
硬質涂層(PVD、CVD 涂層):厚度小于 1 微米
聚合物薄膜
晶圓:厚度范圍為 10 nm 至 500 nm
光學和玻璃:薄膜和/或表面特性表征
內在骨組織的質量
超納米金剛石 (UNCD) 薄膜的機械性能
聚合物的粘彈特性
硬質涂層(PVD、CVD 涂層):厚度小于 1 微米
聚合物薄膜
晶圓:厚度范圍為 10 nm 至 500 nm
光學和玻璃:薄膜和/或表面特性表征
內在骨組織的質量
超納米金剛石 (UNCD) 薄膜的機械性能