熱式質量流量計
熱式質量流量計是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復性和高可靠性;無可動部件以及可用于極低氣體流量監測和控制等特點。
基本原理：通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
優點：
熱式質量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。
熱式質量流量計使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。
缺點：
熱式質量流量計響應慢。
被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產生誤差。
對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。
對于熱分布式熱式質量流量計，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗;對細管型儀表更有易堵塞的缺點，一般情況下不能使用。
對脈動流在使用上將受到限制。
液體用熱式質量流量計對于粘性液體在使用上亦受到限制。
