- 產品介紹
- NavigatorSEM-100高通量（場發射）掃描電子顯微鏡
聚束科技獨立研發并擁有自主知識產權的NavigatorSEM-100高通量（場發射）掃描電子顯微鏡，通過對成像技術、運動平臺、電路控制及智能算法的系統化創新設計，實現了高通量成像，成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案，成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，性地將掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單，全自動一鍵換樣，7*24小時無人值守運行，全面提升科研效率。 我們將成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表面分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。
肖特基場發射電子槍
SORRILTM復合式電磁物鏡系統
光學導航系統
全自動樣品交換系統
聚焦跟蹤系統
納米級運動平臺
實時運算圖像處理服務器
* NavigatorSEM-100詳細信息
肖特基場發射電子槍
高亮度的肖特基場發射電子源，確保高倍率下，依舊能高分辨成像
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- 特性優勢
- 極速成像
- 高質量成像
- 跨尺度大規模成像
- 智能分析
- 操作簡單
極速成像
通過創新的硬件和軟件設計，實現二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像2×100M像素/秒，6秒鐘即可拍攝一張6億像素清圖像（區域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個數量級以上。
高清視頻級攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實時觀測樣品動態變化的能力。
- 基本指標
- NavigatorSEM-100高通量（場發射）掃描電子顯微鏡
| 參數類型 | 參數值 |
| 分辨率 | 1.5nm@1kV 1.2nm@3kV 1.0nm@5kV |
| 加速電壓 | 0.1 kV - 12 kV |
| 放大倍數 | 500X - 600,000X(SEM) 1X - 500X(光學) |
| 束斑電流 | 50pA-300nA |
| 圖像大小 | 512X512像素-24kX24k像素 |
| 圖像采集速度 | 雙通道同時采集2×100M 像素/秒 駐留時間(Dwell Time)10納秒/像素 |
