D500壓力不敏感型高性能質量流量控制器
HORIBA株式會社堀場制作所 的壓力不敏感型高性能質量流量控制器: D500
高穩定性質量流量模塊—氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI(壓力不敏感型)質量流量模塊
概要
最的壓力不敏感型高性能質量流量控制器: D500
高穩定性質量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI(壓力不敏感型)質量流量模塊
特征
壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統
多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內的流量,供應壓力范圍
G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節流方程)
G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監測,通常會在三秒內提高生產能力
高精度
的三維調節已改進工藝氣體的流量精度
快速響應
響應速度<0.8秒
已實現精準且穩定的流量控制
動態范圍
控制范圍:0.2% F.S. ~ 99% F.S.
制造: HORIBA STEC