設(shè)備簡(jiǎn)介：
小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀，主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊易于操作，也可整機(jī)放置于手套箱內(nèi)，對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低;該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國(guó)內(nèi)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性;另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。
目前該設(shè)備配2組無(wú)機(jī)電阻蒸發(fā)源，一臺(tái)2000W直流蒸發(fā)電源，主要用來(lái)開發(fā)納米級(jí)單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、有機(jī)薄膜等。
主要技術(shù)參數(shù)
1、腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接;
2、樣品臺(tái)尺寸：可拆卸式，尺寸Ф100mm，旋轉(zhuǎn)：0-20r/min可調(diào);
3、真空系統(tǒng)：機(jī)械泵(TRP-12,3L/s)+分子泵(Hipace80,67L/s)(可選);GDC-25b電磁擋板閥;
4、極限真空：8.0×10-5Pa;
5、真空抽速：大氣～8×10-4Pa ≤ 40min;
6、真空測(cè)量：復(fù)合全量程真空計(jì)測(cè)量范圍：105Pa～10-1Pa;
7、蒸發(fā)源：2組電阻蒸發(fā)源，2組間可切換，源間有防污板;
8、蒸發(fā)電源：直流蒸發(fā)電源1臺(tái)，0 W～2000W連續(xù)可調(diào)，供2組蒸發(fā)源切換使用;
9、控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能;
10、設(shè)備外形：L51.7cm×W53.6cm×H74.5cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)KF40和一個(gè)CF35法蘭接口;
11、設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制(一火一零一地);
12、冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水(可選)。
13、膜厚儀一臺(tái)。
設(shè)備主要優(yōu)勢(shì)
1、實(shí)用性：設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以滿足客戶實(shí)驗(yàn)室空間不足的苛刻條件;通過更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用;
2、方便性：設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性;
3、高性價(jià)比：設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國(guó)內(nèi)品牌，以國(guó)產(chǎn)設(shè)備的價(jià)格擁有進(jìn)口設(shè)備的配置，從而保證了設(shè)備的質(zhì)量及性能;
4、安全性：獨(dú)立開發(fā)的PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)在傳統(tǒng)操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上新具備了漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能，保證了設(shè)備的使用安全性能;
5、靈活性：設(shè)備可整機(jī)(除機(jī)械泵外)放置于手套箱內(nèi)，也可單獨(dú)放在實(shí)驗(yàn)桌上，省去與手套箱對(duì)接接口等問題，靈活方便。
