MC012系列表面輪廓粗糙度測量儀
MC012系列(2207)
一、2207型表面粗糙度輪廓測量儀產品簡介:
2207型表面粗糙度輪廓測量儀包括粗糙度測量系統、原始輪廓測量系統、波紋度測量系統、直線度測量系統,可測量平面、圓柱面、深槽、曲面的表面粗糙度、波紋度、原始輪廓和直線度參數,還可測量工件表面微觀輪廓的水平和垂直距離。
二、2207型表面粗糙度輪廓測量儀主要技術指標:
1.測量原理:垂直方向:觸針法,電感傳感器;
水平方向:光柵傳感器;
2.測量范圍:垂直400μm,水平
3.表面粗糙度示值誤差:≤±5%;
輪廓度示值誤差:垂直≤0.25%,水平≤0.004%;
4.最小分辨力:垂直0.6 nm,水平1μm;
5.取樣長度:0.08,0.25,0.8,2.5,
6. 評定長度:N倍取樣長度,N=1,2,3,4,5;
7. 數字濾波器:高斯、2RC、PC、不濾波;
8.粗糙度測量參數:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;
波紋度測量參數:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;
原始輪廓測量參數:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;
直線度測量系統測量參數:|X2-X1|,|Y2-Y1|;
9.輪廓圖形的垂直放大倍率:100000倍無級連續放大;
輪廓圖形的水平放大倍率:50000倍無級連續放大;
10.驅動箱滑行長度:
11.驅動速度:0.1,0.2,0.5,0.8,
返回速度:
12.傳感器返回形式:手動,自動;
13.基準導軌的直線性:1μm/
14.傳感器測針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm;
15.立柱結構:快慢速機動升降系統,自動對準零位;
16.立柱垂直測量高度:
17.工作底臺: