設備技術參數：

　　1.1、鐘罩:尺寸500mm×550mm，材料:SUS304;內不銹鋼皮隔熱，升降高度為350mm;

　　1.2、機臺:尺寸約1550mmX900mm×1100mm(含控制);

　　1.3、極限真空度:2.0×10-1Pa;

　　1.4、壓升率:≤5Pa/h;

　　1.5、托樣臺移動:上下升降范圍為±25m;要求上下升降時左右晃動く士3%;

　　1.6、工作壓力:采用薄膜規壓力表，測量范國:0～10kPa;工作時恒定在1kPa～5kPa中的任一壓力值，恒定的壓力數值變化正負0.1kPa;

　　1.7、進氣位置:鐘罩頂部進氣，抽氣口位置位于托樣臺正下方;

　　1.8、控制系統:PLC控制器+線路+10寸觸摸屏(品牌:西門子/昆侖通態);

　　1.9、充氣系統:2路充氣系統，流量計品牌:七星華創，流量范圍:0-2000sccm和0-200sccm;

　　閥門:氣動閥。

　　1.10、真空泵:雙極直聯式油旋片泵，寧波鮑斯產BSV30;

　　設備納米涂層優勢

　　特性：1、 高硬度，國內國際的多項測定表明，納米壓入儀測定的硬度達到80GPa(HV8000),經由納米金剛石鍍膜的工具及產品，硬度遠遠大于未經鍍膜的;

　　2、 鍍膜與基體的結合度，不會產生鍍膜層脫落;

　　3、摩擦系數低至0.092-0.105(對金屬鋼);

　　4、 耐磨性能急速提高。許多材料經鍍膜后，耐磨性可提升100倍以上;

　　5、耐腐蝕性更好，納米金剛石涂層具有化學惰性，例如，覆有100納米金剛石涂層的電鍍件，可經受300小時的鹽霧試驗，不出現腐蝕變異。