MProbe Vis-Thin 薄膜測量系統是一款結構緊湊、功能多樣的臺式系統。它可以測量不同基底上 10nm - 150µm 厚度范圍內的半透明薄膜。而且,它經濟實惠,使用方便。MProbe Vis(X) 的生產版本可承受振動,并可通過局域網連接24小時運行。它可用于在線和 OEM 應用。它與無塵室環境兼容。MProbe20 VisX 系統是 MProbe20 Vis 系統的一個版本,在更長波長(> 700 nm)下的靈敏度有所提高。
靈活性高
500 多種擴展材料數據庫
可以處理復雜的應用,沒有層數限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗淡度等。
集成:輕松集成 TCP 服務器
經濟實惠,性價比高
MProbe20 | 波長范圍 | 厚度測量范圍 |
VIS | 400m-1000nm | 10nm–150μm |
UVVIS | 200m-1100nm | 1nm-75μm |
VIS-HR | 700m-1100nm | 1um-400um |
NIR | 900m-1700nm | 50nm–150μm |
VisNIR | 380m-1700nm | 50nm-250μm |
UVVisF | 200m-1000nm | 1nm-20μm |
UVVISNIR | 200m-1700nm | 1nm-75μm |
NIRHR | 1500m-1550nm | 10μm-1800μm (glass) 4μm-400μm (Si) |
主機(包括光譜儀、光源)
SH200A 樣品臺,帶聚焦鏡頭和微調裝置
光纖反射探頭
TFCompanion -RA 軟件、USB許可證密鑰、包含軟件發布、用戶指南和其他材料的 USB 記憶棒
USB / LAN 電纜
24VDC 電源適配器(110/220V)
產地:美國
厚度范圍: 10 nm - 150 μm
波長范圍: 400nm -1000nm(典型校準范圍:380-1050nm),VisX 為 450nm -1050nm
波長分辨率: < 小于 1 nm,狹縫為 20 微米(整個光譜均勻一致)
連接: USB / 1 GbE LAN
數據采集速率:1.5kHz(Max)
測量時間:10秒(Min)
精度:<0.01nm 或 0.02%(在 200nm 氧化物上進行 100 次測量的 s.d.)。
準確度:<1nm 或 0.2%(取決于薄膜疊層)
穩定性:< 0.02nm 或 0.2%(每天測量 20 天)
光斑尺寸:< 1 mm
樣品尺寸:>= 10 mm
光源:5W TH 燈,10000 小時壽命(可選:20W TH 燈,2000 小時壽命)
可快速可靠地測量大多數半透明或輕吸收薄膜: 氧化物、氮化物、光刻膠、聚合物、半導體(硅、砷化鎵、aSi、聚硅等)、硬涂層(SiC、DLC、AlN)、聚合物涂層(Paralene、PMMA、聚酰胺)、ITO、電池間隙、氧化鋁、薄金屬膜(<50 納米)等。