CPN-SC-100 標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO 導(dǎo)電玻璃、光學(xué)
玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與
時間,有效控制膠的厚度、均一性。可應(yīng)用于各研究領(lǐng)域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。
性能描述
1、控制顯示:LED 數(shù)字控制器,用戶可通過控制器進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置
2、勻膠模式:可同時輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔,轉(zhuǎn)速啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
主要技術(shù)指標(biāo)
1、勻膠時間:1~9999s 任意時間可設(shè)置
2、勻膠速度:0~8000rmp 可調(diào)
3、旋轉(zhuǎn)加速度:0~8000rpm/sec
4、加速時間:0.1s~0.5s
5、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp
6、涂膠均勻性:±3%
7、可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6″)
8、基片厚度: ≤5mm
9、設(shè)備配置Ф200mm 接膠裝置
10、電機(jī)額定功率 90W,額定轉(zhuǎn)速 8000rmp
11、輸入電源: AC220V/240V 50HZ
12、機(jī)身尺寸: 280×360×240mm
13、機(jī)身重量:10Kg