日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀
ULTRATEST™ 傳感器技
工業真空和半導體制造中真空泄漏檢測的“干式”標準
INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空泄漏檢測的工認標準
通過儀器的干式泵技術，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩健性和經濟性之間提供了最加的性價比。它提供*的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。緊湊的設計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區域。可選的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內實現低于現有背景水平狀態持續進行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確保可以經濟實惠地檢測出所有泄漏。
好處
·通過縮短抽氣時間和響應時間加快泄漏檢測工作
·通過使用可選的背景抑制(lzero)，避免需要進行多次泄漏測試。
·通過緊湊的設計方便進入空間有限的維護區域
·通過耐用的兩個熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統實現低擁有成本(TCO)
·通過可旋轉顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應用難度
·通過內置泄漏測試和自動校準程序實現低成本維護
典型應用
對清潔度要求嚴苛的工業真空設備制造
在將真空組件或子組件安裝到現有工具中之前
真空工具的維護工作，無論是否有泵的支持
工藝氣體系統的檢查和安裝
半導體、平板顯示器或太陽能電池制造
日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀
您的泄漏檢測解決方案專家
INFICON可為高度專業化行業中要求極為苛刻的真空過程提供quan球嶺先的測量和傳感器技術及過程管理服務。特別是在制冷和空調技術,半導體制造和汽車生產等領域，INFICON的氣體泄漏檢測產品有著廣泛應用。
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