壓縮機螺桿真空鍍膜機制備的硬質涂層可以保護機械設備的高應力液壓元件免受磨損、附著、腐蝕、氣蝕和變形。在高壓、高流速和高轉速的情況下,使用低可燃、基于水的液體介質時(HFA、HFC),潤滑不良時,吸入研磨性介質時仍確保可靠的運行。真空鍍膜設備真空鍍室的真空密封和室內運動部件的設計和用材,充分考慮可承受高溫,配置多只高效園形電弧蒸發源,或配多個矩形平面電弧蒸發源,也可配多只空心陰極槍,同時配置耐沖擊的、具有優異滅閃弧性能的偏壓電源,保證足夠等離子體密度和反應活性,提高膜層致密性和結合力。工件可三維運動,提高膜層均勻性。全自動控制提高工藝穩定性。可鍍制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多層超硬膜等。
HCSH-380 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
Ø400x H450mm | CMARC | 2pcs×3 | |
生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
3-5小時/爐 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
磁懸浮分子泵 等離子清洗 氣體刻蝕 | 工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 | 洗刀 D4×50mm=864 D10×75mm=264 刀片 D18×5mm=1440 滾刀 D80×80mm=15 | |
HCSH-600 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
Ø600 x H500mm | CMARC | 2pcs×3 | |
生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
4-6小時/爐 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
磁懸浮分子泵 脈沖偏壓 HCD等離子刻蝕 | 工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 | 洗刀 D4×50mm=1920 D10×75mm=512 刀片 D18×5mm=3276 滾刀 D80×80mm=40 | |
HCSH-650 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
Ø650 x H750mm | CMARC | 4pcs×3 | |
生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
3-6小時/爐 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
磁懸浮分子泵 脈沖偏壓 等離子刻蝕 | 工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 | 洗刀 D4×50mm=4032 D10×75mm=880 刀片 D18×5mm=6400 滾刀 D80×80mm=64 | |
HCSH-900 | 有效空間 | 應用技術 | 靶材 |
Ø900 x H1200mm | CMARC | 6pcs×3 | |
生產周期 | 標準涂層 | 可選涂層 | |
5-8小時/爐 | TiN,CrN,AlTiN,AlCrN | TiCN,TiAlCrN,TiAlSiN | |
硬件 | 軟件 | 產量/爐 | |
磁懸浮分子泵 脈沖偏壓 等離子刻蝕 | 工業可編程系統 工業PC系統 專家遠程診斷系統 | 洗刀 D4×50mm=8640 D10×75mm=2200 刀片 D18×5mm=1200 滾刀 D80×80mm=140 |
涂層種類 | 涂層名稱 | 顏色 | 涂層成分 | 顯微硬度 | 使用溫度 | 摩擦系數 | 涂層厚度 |
氮化物陶瓷 | HAL | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 |
HAL Plus | 黑色 | ALTiN | 3800 | 900 | 0.6 | 4±0.5 | |
HAL Mini | 黑色 | ALTiN | 3500 | 900 | 0.6 | 1.5±0.5 | |
HAL B | 紫黑 | ALTiN | 3600 | 900 | 0.6 | 2.5±0.5 | |
HAR | 銀色 | CrN | 2000 | 700 | 0.3 | 3±0.5 | |
HAT | 金黃 | TiN | 2400 | 600 | 0.5 | 3±0.5 | |
HAS | 古銅 | AlTiSiN | 3800 | 1000 | 0.4 | 3±0.5 | |
HATC | 灰色 | TICN | 3500 | 400 | 0.2 | 2±0.5 | |
HATC Plus | 古銅 | TICN | 3200 | 400 | 0.25 | 2±0.5 | |
HART | 金黃 | CrTiN | 2500 | 600 | 0.4 | 2.5±0.5 | |
HRA | 藍灰 | AlCrN | 3500 | 1000 | 0.4 | 4±0.5 | |
HRAT | 灰色 | AlTiCrN | 3200 | 900 | 0.4 | 3±0.5 | |
DLC | HCC | 黑色 | CrN+W-C:H | 2200 | 300 | 0.2 | 2±0.5 |
HCMC | 黑色 | Cr+W-C:H+DLC | 1800 | 300 | 0.1 | 2±0.5 |
涂層 名稱 | 低合 金鋼 | 高合 金鋼 | 不銹鋼 | 鑄鐵 | 銅 | 青銅 | 鋁合金Si<12% | 鋁合金Si>12% | 木材 | 塑料 | 鉆頭 | 鉆削 刀片 | 銑刀 | 銑削 刀片 | 車刀片 | 滾刀 | 插齒刀 | 滾插 刀片 | 絲錐 |
HAL Plus | A- | A | A- | A | A | A | A- | A | A | A | A | ||||||||
HAL Mini | A- | A | A | A | A- | ||||||||||||||
HAL B | A- | A | A- | A | A- | A- | A | A- | A- | ||||||||||
HAR | A | A | A | A | A- | ||||||||||||||
HAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | |||||||
HAS | A- | A- | A | A | A | A | |||||||||||||
HATC | A | A | A- | ||||||||||||||||
HATC Plus | A | A | A- | A | |||||||||||||||
HART | A | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
HRA | A- | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | ||||
HRAT | A | A | A | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A- | A | A | A | A | A | A | A | A | |
HCC | A | A | A- | A | A | A | |||||||||||||
HCMC | A | A | A- | A | A | A- | |||||||||||||
A:非常實用現有的材料或者加工環境 | |||||||||||||||||||
A-:亦可用在該材料和加工環境中 |
徑向活塞馬達、軸向活塞泵、葉片泵、螺桿泵