產品參數說明：

1.轉速范圍：100-12000rpm；轉速分辨率：1rpm

2.加速度可調范圍：100-30000rpm/s

3.單步步長：3000S ;時間分辨率：0.1S

4.單步或多步運行可選，可編程10組10步程序

5.寬電壓適用：AC100-230V輸入,中英文界面可選標配10mm、25mm、55mm三種直徑規格真空載物盤

6.內腔直徑：200mm，可處理碎片（小于1cm） 至6英寸圓晶底物。

6.外型尺寸：270mm(W)*387mm(D)*258mm(H)

產品特點：                             

1.工業級BLDC電機與單片機控制

2.4.3寸全彩觸摸屏人機界面操作

3.超高分子材料內腔，不銹鋼外売 特殊設計的防進膠、防堵膠功能

4.可升級一路精確計量自動點膠功能

5.帶真空開關和蓋子開關安全互鎖功能

6.推暮旋涂底物尺寸：6寸圓形底物