自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺XY軸通過使用高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器的閉環(huán)直流伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)精確控制。通過對臺位置進(jìn)行閉環(huán)控制,就不會出現(xiàn)臺位置丟失的情況,而這種位置丟失請看在開環(huán)微步控制位移臺中可以遇到。XY位移臺采用交叉滾子滑塊、高精度絲杠、零間隙微型齒輪直流伺服馬達(dá),運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)準(zhǔn)確。自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺的頂板可接受標(biāo)準(zhǔn)的k-size載玻片樣品架,可用于任何載玻片、培養(yǎng)皿、多孔板等。
自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺Z軸的載玻片樣品架可由壓電元件控制,提供150μm行程和納米精度(300μm,500年μm行車也可提供)的位置定位,通過在Z平面上移動(dòng)樣品可以消除扭曲的導(dǎo)線或所需的間隔。
自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺采用微處理器控制的MS-2000壓電控制器,具有RS-232和USB與主機(jī)通信接口,能夠精確控制XYZ軸。
自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺特點(diǎn)
1.閉環(huán)控制的X軸,Y軸和Z軸的精確定位和高度可重復(fù)聚焦;
2.動(dòng)態(tài)速度范圍寬,梯形運(yùn)動(dòng)輪廓可調(diào);
3.平滑可調(diào)式雙量程搖桿控制;
4.背光液晶顯示器顯示X、Y、Z坐標(biāo)“0和“Home”按鈕為簡單的獨(dú)立操作;
5.緊湊的人體工程學(xué)桌面控制單元尺寸是6”D x 9”W x 3”H (9 x 23 x 16½ cm)機(jī)架安裝控制器與獨(dú)立的操縱桿也可用;
6.經(jīng)過驗(yàn)證的操作與許多流行的軟件包;
7.行程范圍將掃描全井板在大多數(shù)情況下。
自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺PZU-2000標(biāo)準(zhǔn)配置參數(shù)
XY軸行程范圍 | 120 mm x 110 mm |
XY軸分辨率(編碼器步長) | 0.088 μm |
XY軸導(dǎo)螺桿精度 | 0.25 μ/mm |
XY軸RMS可重復(fù)性 | < 0.7 μm |
XY軸速度 | 7 mm/sec |
Z軸的行程范圍 | 100 μm (175 μm version optional) |
Z軸分辨率 | 1.5 nm |
Z軸速度與沉降時(shí)間 | 5 mm/sec (~ 10 ms per move) |
Z軸諧振頻率(無載) | > 1 KHz |
Z軸頂板負(fù)荷 | 500 grams |
Z軸頂板剛度(± 20%) | 3 N/μm |
Z軸頂板平面傾斜(典型) | 10 μrad |
1.用于高精度定位的XY軸線性編碼器。線性編碼器分辨率為10納米,比例尺精度為0.3μm每10毫米,3μm 100毫米。樣品處的定位分辨率< 50nm;
2.自動(dòng)對焦(需要NTSC或PAL合成視頻信號);
3.ASI證明的z軸驅(qū)動(dòng)線也可以添加到顯微鏡的精細(xì)聚焦軸上,提供z軸定位,在顯微鏡的整個(gè)行程范圍內(nèi)提供50納米的分辨率。壓電單元然后可以用于快速和準(zhǔn)確的z軸定位到旅行范圍內(nèi)的任何點(diǎn);
4.當(dāng)使用標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)編碼器時(shí),其他的絲桿螺距可用于更快的XY轉(zhuǎn)換,或更精確的定位。
自動(dòng)顯微鏡XYZ位移臺常規(guī)壓電控制器技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | PZ-2150 | PZ-2300 | PZ-2500 |
壓電行程范圍(+/- 5%) | 150 μm | 300 μm | 500 μm |
壓電最小移動(dòng)/分辨率 | 2.2 nm | 4.5 nm | 7.6 nm |
全行程負(fù)荷 | 2Kg | 1Kg | 1Kg |
瞬時(shí)響應(yīng)時(shí)間 | 11 – 15 ms | / | / |
額外模擬輸入 | 0 to 10 Volts | / | / |
輸入頻率 | 20 Hz | / | / |
連續(xù)輸出電流 | 13 mA | / | / |
在外部輸入模式下,使用更高的位DAC將提高分辨率。例如0-10模擬壓電從DAC的結(jié)果如下:
PZ-2150 | ||
額外模擬輸入 | 步長 | 分辨率 |
16 Bit DAC | 65536 | 2.2 nm |
17 Bit DAC | 13075 | 1.1 nm |
18 Bit DAC | 262144 | 0.55 nm |
1.萊卡/徠卡顯微鏡 – Aristoplan, DM4000, DM4500, DM5000, DM6000, DMLB, DMRB, DMRP, DMRXP
2.尼康顯微鏡 – Eclipse 80i, Eclipse 90i, Eclipse 800, Eclipse 1000
3.奧林匹斯顯微鏡– AX70, BX41, BX50, BX51, BX60, BX61
4.蔡司顯微鏡– AxioImager, Axiolab, Axioplan, Axioplan II, Axiophot I, Axiophot II, Axioskop, Axioskop II, Axioskop FS II
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