| 品牌 | 其他品牌 | 適用基片尺寸 | 150毫米直徑圓片/5英寸方片 |
|---|---|---|---|
| 旋轉轉速范圍 | 100~12000RPM | 旋轉加速度 | 12000RPM/S |
| 轉速精度 | 小于0.2rpm | 外殼材質 | NPP(天然聚丙烯） |
一、Laurell 650勻膠機產品特點:
采用NPP外殼材質，PLC控制，速度可調節，在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開，然后自動變到高速運轉，步驟轉速及相應的時間分別可調；
二、Laurell 650勻膠機WS-650Mz-23NPPB技術參數：
1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑圓片，方片125x125mm；
3、轉動速度：100-12,000rpm，
4、旋涂加速度：1-12000rpm/sec（空載）；
5、馬達旋涂轉速：穩定性能誤差<± 1 %；
6、轉速調節精度：<0.2rpm，重復性< 0.2rpm；
7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；
9、高 精 度 數 碼控制器：PLC控制，設置點精度小于0.006%。
10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設置51步不同的速度狀態；
11、分辨率：分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證;
12、配套真空泵系統：無 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；
