這些特征使得用戶可以非常方便的在材料研究領域的不同應用之間切換,包括:反射率測量(XRR)、高分辨測量(HRXRD)、掠入射(GID)、面內掠入射(IP-GID)、小角散射(SAXS)以及殘余應力和織構分析。
布魯克X射線衍射儀主要應用:
高分辨XRD(HRXRD)
外延多層膜厚度
晶胞參數
晶格錯配
組份
應變及弛豫過程
橫向結構
鑲嵌度
X射線反射率(XRR)
薄膜厚度
組份
粗造度
密度
孔隙度
倒易空間圖譜(RSM)
晶胞參數
晶格錯配
組份
取向
弛豫
橫向結構
面內掠入射衍射 (in-plane GID)
掠入射小角X射線散射(GISAXS)
晶胞參數
晶格錯配
橫向關聯性
取向
物相組成
孔隙度
應力和織構分析
取向分布
取向定量
應變
外延關聯
硬度
物相鑒定(Phase ID)
物相組成
d值確定
擇優取向
晶格對稱性
晶粒大小