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環(huán)保APP正式上線

外延片等離子刻蝕機(jī)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市甲岸科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/9/4 19:28:59
  • 訪問次數(shù)172
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市甲岸科技有限公司成立于2019年,致力于等離子清洗機(jī)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售以及售后服務(wù)于一體的技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于新能源、半導(dǎo)體集成電路及微電子產(chǎn)業(yè)、PCB線路板制造 、 生物醫(yī)療材料 、精密儀器、機(jī)械及電氣制造、 聚合物薄膜、紡織纖維改性 、汽車制造、橡膠塑料等產(chǎn)業(yè)。 甲岸科技等離子系列產(chǎn)品,采用當(dāng)今技術(shù),進(jìn)口***電子元器件、原材料制造,目前已形成8個系列,50多種規(guī)格,品種齊全的標(biāo)準(zhǔn)化系列產(chǎn)品。大型非標(biāo)產(chǎn)品均實現(xiàn)PLC、工控網(wǎng)絡(luò)控制,觸摸屏顯示。 甲岸科技擁有15年專業(yè)研發(fā)、制造等離子體表面處理設(shè)備的行業(yè)經(jīng)驗,目前研發(fā)制造中心位于東莞長安,擁有一批10年以上工作經(jīng)驗的高水平技術(shù)骨干,一線操作工具備5年以上的等離子加工廠工作經(jīng)驗,為確保產(chǎn)品質(zhì)量提供可靠保證。 公司通過ISO9001:2000國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證,ISO9001質(zhì)量體系已經(jīng)通過國際認(rèn)證,同時深入推行7S管理,響應(yīng)計劃開發(fā)署“淘汰ODS物質(zhì)”號召,研制、開發(fā)與技術(shù)同步的環(huán)保產(chǎn)品。公司秉承客戶至上、品質(zhì)至上、創(chuàng)新、速度的理念,不斷加強(qiáng)自主創(chuàng)新與發(fā)展。
真空等離子清洗機(jī)
應(yīng)用范圍適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。
外延片等離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

甲岸科技外延片等離子刻蝕機(jī)


甲岸科技等離子刻蝕機(jī)對對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現(xiàn)各項異性刻蝕,保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。滿足用戶對產(chǎn)品表面處理需求。


產(chǎn)品應(yīng)用


1、適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗、鍍膜。



產(chǎn)品特點


  • 小巧靈活、操作簡單、易維護(hù)。
  • 引進(jìn)德國核心等離子技術(shù),質(zhì)量有保障。
  • 進(jìn)口針閥精密流量控制計,精度高。
  • 材質(zhì)耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
  • 多路工藝反應(yīng)氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。
  • 可以根據(jù)客戶需求定制




型  號

AP-E30

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W    可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

級焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

薄膜硅

氣體流量計

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權(quán)限操作;

5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息;

6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數(shù);

9、自動、手動操作可切換;

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕;

11、門感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機(jī)器運行信號指示;

13、機(jī)器運行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設(shè)施配置

電  力

五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊、維護(hù)手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


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