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采用雷射干涉計方式
雷射檢出器
雷射光源置于檢出器外部,以光先導入光路差被增光學系,不會因光熱而產生漂移。 動態范圍和分解能比值600000:1,大型測定件中,埋藏于溝谷之間的微細形狀,巨細皆可測定出來。
Z軸分解能/測定范圍 0.01μm/ 6mm 0.02μm/12mm X軸分解能/測定范圍 0.1μm/ 100mm *粗度、波紋度解析機能 *形狀解析機能 ‧要素解析、向量解析 ‧非球面解析 ‧Ball Screw解析 ‧非球面解析‧MASTER比較解析
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