半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間 工業(yè)無(wú)菌潔凈室設(shè)計(jì)
凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。
無(wú)塵車(chē)間工程是指按照客戶(hù)的要求,提供對(duì)微粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物的有效控制,溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內(nèi)壓差、氣流速度與氣流分布、振動(dòng)、靜電等各項(xiàng)指標(biāo)均滿(mǎn)足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間。無(wú)塵車(chē)間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度,以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo),使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個(gè)滿(mǎn)足要求的、受控的、良好的環(huán)境空間中進(jìn)行生產(chǎn)和操作,從而達(dá)到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率,改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo)。
半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間 工業(yè)無(wú)菌潔凈室設(shè)計(jì)
由于工業(yè)的需求凈化工程在近幾年,在不斷地壯大,尤其是應(yīng)用在實(shí)驗(yàn)室上的凈化,實(shí)驗(yàn)室凈化就是將*的凈化設(shè)備用在某個(gè)特定的實(shí)驗(yàn)室內(nèi),使得所在室內(nèi)就不會(huì)受外界環(huán)境的影響,這也是一種隔離式的凈化,對(duì)于實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō),這種恒溫壓不受外界元素干擾的環(huán)境,使得實(shí)驗(yàn)結(jié)果精確,實(shí)驗(yàn)室器材精確度受保護(hù),當(dāng)然對(duì)于不同的實(shí)驗(yàn)室,會(huì)有不同的凈化方法,一般情況會(huì)有以下幾種分類(lèi),有亂流式、層流式、復(fù)合式等,下面分別介紹這幾種作用。
(1) 潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。因此,在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產(chǎn)工藝正常運(yùn)行的前提下盡可能地降低參數(shù)要求,控制凈化面積,縮小高凈化級(jí)別潔凈區(qū)的范圍,嚴(yán)格控制100級(jí)和更高級(jí)別單向流潔凈區(qū)的面積。 [3]
(2)在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設(shè)置在上風(fēng)側(cè),把產(chǎn)生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設(shè)備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外,若必須放在潔凈區(qū)內(nèi)時(shí)應(yīng)盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。