產品介紹
對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。
產品參數
型 號 | FRD-E30 | ||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~500W 可調 | ||
真空系統 | 真空腔體 | 材質 | 石英、航空鋁(選配) |
腔體內部尺寸(MM) | 400*200*400 | ||
腔體容積 | 30L | ||
極板 | 1層 | ||
密封性 | 級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計 | 薄膜硅 | ||
氣體流量計 | <±1% FS | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路,氣體流量可調 | ||
極限真空 | 3Pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM(可調) | |
工藝氣體 | Ar、N?O?、H?等等(可選) | ||
控制系統 | 1、PLC 自動控制; | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面; | |||
3、配方程序為 0~99; | |||
4、多級權限操作; | |||
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息; | |||
6、存儲工藝數據及錯誤信息; | |||
7、報警信息提示及追溯; | |||
8、圖形化界面檢測處理參數; | |||
9、自動、手動操作可切換; | |||
10、維護提示緊急停止按鈕; | |||
11、門感應器和真空互鎖; | |||
12、機器運行信號指示; | |||
13、機器運行結束提示; | |||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840 (寬高深) | |
重 量 | 280KG | ||
設施配置 | 電 力 | 五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。 | |
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。 |
產品特點
1、小技巧、操作簡單、易維護。
2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計,精度高。
4、材質耐腐蝕,環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。
6、可以根據客戶需求定制。
產品優勢
對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。