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外延片等離子刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱廣東芳如達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/8/20 18:21:32
  • 訪問次數184
產品標簽:

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廣東芳如達科技有限公司成立于2017年,致力于低溫等離子產品的研發和產業化,是一家集技術研發、生產、銷售以及售后服務于一體的技術企業,產品成功應用于新能源、半導體集成電路及微電子產業、PCB線路板制造 、 生物醫療材料 、精密儀器、機械及電氣制造、 聚合物薄膜、紡織纖維改性 、汽車制造、橡膠塑料等產業。芳如達擁有15年專業研發、制造等離子體處理設備的經驗,為更好服務客戶,先后設立深圳、香港、長沙、昆山、成都、石家莊等六大客戶服務中心,研發制造中心在東莞。芳如達擁有經驗豐富的技術專家團隊,主要設計研發人員都擁有十年以上行業經驗。現有團隊成員50多人;其中碩士研究生3人,85%以上人員為大專以上學歷。公司秉承客戶至上、品質至上、創新、速度的理念,不斷加強自主創新與發展。專注于等離子技術研發及應用。同時為客戶提供高效、精準的自動化制造方案。芳如達一貫堅持:“的產品;的服務;的合作關系”的經營理念;“顧客滿意,共同發展”的經營目標;“至誠至信,至新至美”的公司精神;“團隊合作,以人為本”的核心價值。芳如達和南方科技大學成立了校企聯合實驗室,也同中國科技大學、天津大學、華中科大、航天空氣動力研究院、中科院電子所、理化所、金屬所、中國強磁場中心等單位都有很好的合作關系。始終牢記為客戶創造更大價值而持續創新的使命和成為行業百年服務品牌的愿景,繼續為實現客戶更大的價值而努力。
等離子體表面處理儀
產品介紹對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性
外延片等離子刻蝕機 產品信息
產品介紹

對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。

產品參數

型  號

FRD-E30

等離子源系統

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W    可調

真空系統

真空腔體

材質

石英、航空鋁(選配)

腔體內部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

級焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

薄膜硅

氣體流量計

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調)

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統

1、PLC 自動控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面;

3、配方程序為 0~99;

4、多級權限操作;

5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息;

6、存儲工藝數據及錯誤信息;

7、報警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測處理參數;

9、自動、手動操作可切換;

10、維護提示緊急停止按鈕;

11、門感應器和真空互鎖;

12、機器運行信號指示;

13、機器運行結束提示;

外觀參數

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設施配置

電  力

五線,三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊,易損件備件清單。


產品特點

1、小技巧、操作簡單、易維護。

2、引進德國核心等離子技術,質量有保障。
3、進口針閥精密流量控制計,精度高。

4、材質耐腐蝕,環保不產生金屬污染。
5、多路工藝反應氣體通道,保證產品清洗效果。

6、可以根據客戶需求定制。


產品優勢

對外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進行介質刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實現各項異性刻蝕,保證細小圖形轉移后的保真性。


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