貨號 | 型號 | X1軸測量范圍mm | 檢測器測力mN | 垂直移動 | 花崗巖基座尺寸（WxD） | 尺寸（主機、WxDxH） | 重量（主機） |
525-421-1* | SV-C3100S4 | 100 | 0.75 | 300mm電動立柱 | 610X450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-421-2* | SV-C3100S4 | 100 | 4 | 300mm電動立柱 | 610X450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-422-1* | SV-C3100H4 | 100 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 610X450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-422-2* | SV-C3100H4 | 100 | 4 | 500mm電動立柱 | 610X450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-423-1* | SV-C3100W4 | 100 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-423-2* | SV-C3100W4 | 100 | 4 | 500mm電動立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-426-1* | SV-C3100S8 | 200 | 0.75 | 300mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-426-2* | SV-C3100S8 | 200 | 4 | 300mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-427-1* | SV-C3100H8 | 200 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-427-2* | SV-C3100H8 | 200 | 4 | 500mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-428-1* | SV-C3100W8 | 200 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
525-428-2* | SV-C3100W8 | 200 | 4 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
525-461-1* | SV-C4100S4 | 100 | 0.75 | 300mm電動立柱 | 610x450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-461-2* | SV-C4100S4 | 100 | 4 | 300mm電動立柱 | 610x450mm | 996X575X966mm | 140kg |
525-462-1* | SV-C4100H4 | 100 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 610x450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-462-2* | SV-C4100H4 | 100 | 4 | 500mm電動立柱 | 610x450mm | 996x575x1176mm | 150kg |
525-463-1* | SV-C4100W4 | 100 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-463-2* | SV-C4100W4 | 100 | 4 | 500mm電動立柱 | 1000X450mm | 1396x575x1176mm | 220kg |
525-466-1* | SV-C3100S8 | 200 | 0.75 | 300mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-466-2* | SV-C3100S8 | 200 | 4 | 300mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x966mm | 140kg |
525-467-1* | SV-C3100H8 | 200 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-467-2* | SV-C3100H8 | 200 | 4 | 500mm電動立柱 | 610x450mm | 1005x575x1176mm | 150kg |
525-468-1* | SV-C3100W8 | 200 | 0.75 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
525-468-2* | SV-C3100W8 | 200 | 4 | 500mm電動立柱 | 1000x450mm | 1408x575x1176mm | 220kg |
基本技術參數:
基座尺寸 (W x H): 750 x600mm或 1000 x450mm
基座材料: 花崗巖
重量
主機:140kg(S4),150kg(H4),220kg(W4)
140kg (S8),150kg(H8),220kg(W8)
控制器:14kg
遙控箱:0.9kg
電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主機)
輪廓測量技術參數:
X 軸
測量范圍:100mm或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度:80mm/s、外加手動
測量速度: 0.02 -5mm/s
移動方向: 向前／向后
直線度: 0.8μm /100mm, 2μm /200mm
* 以X 軸為水平方向上
直線位移: ±(1+0.01L)μm (SV-C3100S4, H4, W4)
精度 (20° C時) ±(0.8+0.01L)μm (SV-C4100S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (SV-C3100S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (SV-C4100S8, H8, W8)
* L 為驅動長度(mm)
傾角范圍: ±45°
Z2 軸 (立柱)
垂直移動:300mm或 500mm
分辨率: 1μm
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅動速度: 0 -20mm/s、外加手動
Z1 軸 (檢測器)
測量范圍: ±25mm
分辨率: 0.2μm (SV-C3100),
0.05μm (SV-C4100)
檢測方法: 線性編碼器 (SV-C3100),
激光全息測微計 (SV-C4100)
直線位移: ±(2+I4HI/100)μm (SV-C3100)
精度 (20° C時) ±(0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100)
*H: 基于水平位置的測量高度(mm)
測針上／下運作: 弧形移動
測針方向: 向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度: 向上: 77° , 向下: 87°
(使用配置的標準測頭，依表面粗
糙度而定)
測針針尖 ***半徑: 25μm、硬質合金***
表面粗糙度測量的技術參數：
X1 軸
測量范圍:100mm或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 線性編碼器
驅動速度:80mm/s
移動方向: 向后
直線度: (0.05+1.5L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
0.5μm/200mm(S8, H8, W8 型)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動:300mm或 500mm
分辨率: 1μm
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器
驅動速度: 0 -20mm/s、外加手動
檢測器
范圍／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm
(2400μm 使用測頭選件)
檢測方法: 無軌／有軌測量
測力: 4mN 或 0.75mN (低測力型)
測針針尖: 金剛石、90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測力型)
導頭曲率半徑:40mm
檢測方法: 差動電感式
使用旋轉工作臺 使用Y 軸工作臺 q1
使用旋轉工作臺 q2
自動測量
? 在與CNC 機型配套使用的眾多外設選件
的支持下，可實現自動測量。
SV-C3100S4
帶PC 和數據分析軟件的SV-C3100S4
表面粗糙度測量
? 直線度: ±(0.05+0.001L)μm*
專用于需要精度測量的工件。
*S4 型、H4 型、W4 型；L 為驅動長度 (mm)
? 符合JIS '82/'94/'01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等表面
粗糙度的標準。
? 標準配置：精度測頭 (0.75mN / 4mN 測力) ，
分辨率至0.0001μm。
輪廓驅動測量
? X 軸精度: ±(0.8+0.01L)μm*
Z1 軸精度: ±(0.8+I0.5HI/25)μm*
專用于需要精度測量的工件。
* SV-C4100S4 型、H4 型、W4 型；L 為驅動長度, H 為測量高度 (mm)
? SV-C4100 系列的輪廓驅動器配備了激光全
息測微計測頭，Z1 軸寬／窄范圍均能達
*產品信息僅供參考，型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改
