一、工作原理

真空變壓吸附空分制氧，是采用優質沸石分子篩吸附氮氣，未被吸附的氧氣在塔頂聚集并做為產品氣輸送至氧氣貯罐。當處于吸附狀態的吸附塔臨近飽和之前，該塔自動減壓解吸再生，而另一只吸附塔開始加壓吸附制取氧氣。兩只吸附塔交替工作，完成制氧的工藝過程。吸附塔解吸再生時，采用負壓，稱為VPSA制氧。

二、設備工藝

變壓吸附空分制氧裝置的吸附床必須包含兩個操作步驟：吸附和解吸。為了連續獲得產品氣，通常在制氫裝置中都裝置兩個以上的吸附床，并且從能耗和穩定性的角度出發，另外設置一些必要的輔助步驟。每個吸附床一般都要經歷吸附、放壓、抽空或減壓再生、沖洗置換和均壓升壓等步驟，周期性地重復操作。在同一時間，各個吸附床則分別處于不同的操作步驟，在PLC的控制下定時切換，使幾個吸附床協調操作，在時間步伐上則相互錯開，使變壓吸附裝置能夠平穩運行，連續獲得產品氣。對于實際的分離過程，還必須考慮空氣中的其它微量組份。二氧化碳和水分在通常的吸附劑上的吸附能力一般要比氮和氧都大的多，可在吸附床內填加合適的吸附劑（或利用制氧吸附劑自身）使其被吸附清除。

三、技術特點

土建工程量小，裝置安裝周期比深冷裝置短，投資省：制氧電耗更低，能耗低；裝置運行和維護費用低；裝置運行自動化程度高，開停車方便快捷，操作人員少：裝置運行穩定性強，安全性高；操作簡單，主要部件均選用國際廠家；采用制氧分子篩，性能*，使用壽命長。

四、技術指標

氧氣產量：100~10000Nm3/h 氧氣純度：30~95.0%(可調） 氧氣壓力：0.015~0.05MPa(可增壓） 制氧耗電：0.32~0.37Kwh/Nm3（純度90%時折合純氧的電耗）

四、 VPSA制氧與深冷空分制氧比較