半導體接觸角測試儀
晶圓半導體接觸角儀
電路板接觸角測試儀
SGC-B3Y200自動接觸角測量儀 技術資料
一.主機圖片:
二.功能概述:
本接觸角測量儀特別訂制的圓形樣品臺于晶圓(Wafer)樣品的測試。通過測試液滴在晶圓樣品表面形成接觸角的大小,來檢測其表面的潔凈程度和評估表面處理的工藝效果。
三.技術指標:
技術項目 | 功能指標 |
1.接觸角測量 | 1-1.分析算法:量高法、量角法、圓環法、橢圓法、切線法、Y-L法 1-2.具有左接觸角、右接觸角和平均接觸角分開測試和比較功能 1-3.具有凹面、凸面、弧面、超親水、超疏水等特殊表面分析功能 1-4.具有不規則形、非軸對稱本征接觸角的分析功能 1-5.具有自動分析接觸角變化過程的批處理測試功能 |
1-6.測量范圍:0°~180° 1-7.測量精度:±0.1° 1-8.提供標定塊,可隨時對測量精度進行校準 1-9.測量分辨率:0.001° | |
2.表面/界面張力測量 | 2-1.分析算法:手動法、自動法 2-2.測量范圍:0.01~2000mN/m 2-3.測量精度:±0.1% 2-4.測量分辨率:0.001mN/m |
3.表面能估算 | 3-1.估算模型:Fowkes、擴展Fowkes、Owens-Wendt、van OSS、 Wu調和平均法、狀態方程法 3-2.可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、 路易斯酸分量、路易斯堿分量等 |
3-3.液體數據庫:預置37種常用液體表面張力及其分量數據, 數據可直接調入用于表面能估算 3-4.液體庫數據可自行添加、刪除和修改 | |
4.潤濕性分析 | 4-1.通過液體的表面張力和對固體的接觸角可分析該固體的潤濕程度, 包括粘附功、鋪展系數和粘附張力 |
5.數據管理 | 5-1.通過試驗模板保存試驗信息、試驗數據和圖片 5-2.新建的試驗模板保存后可重復調入使用 5-3.可對試驗數據進行修改、刪除和調入再分析等 5-4.試驗數據可標注于圖片上,并隨圖片一起保存 5-5.試驗結果可導出至Word、Excel和PDF |
6.圖像拍攝 | 6-1.單張拍攝、連續拍攝、視頻錄制和圖片回放 6-2.可選擇采用相機外觖發功能自動拍攝 |
7.光學成像系統 | 7-1.相機:300萬像素、幀率36幀/秒 7-2.鏡頭:0.7~4.5×連續變倍、工作距離195mm 7-3.調焦范圍:±12.5mm;調焦精度:0.25mm 7-4.調焦時軟件自動檢測清晰度,消除人為誤差 7-5.水平和俯仰調整范圍:±2° 7-6.背光源:LED冷光源+遮光板,亮度無極調節 |
8.滴液系統 | 8-1.滴液方式:軟件控制進樣器自動滴液和自動升降 8-2.小滴液量:0.1μl/滴 8-3.滴液精度:±0.05μl |
9.樣品臺 | 9-1.臺面尺寸:?200mm 9-2.移動行程:X軸=200mm;Y軸=300mm;Z軸=50mm;θZ軸=360° 9-3.移動方式:手動旋鈕控制三維移動定位 |
10.主機參數 | 10-1.尺寸:約W890×D550×H560mm 10-2.重量:約40kg 10-3.電源:1∮ AC220V 50HZ |
四.隨機附件:
1.
控制器:1套
2. 微量進樣器:2支
3. 接觸角標定塊:1塊
4.
軟件安裝U盤:1個
5. 水平尺:1個
6. 工具:1套
五.選配附件:
1. 計算機(另購):
品牌:聯想lenovo 類型:商用一體電腦
系統:Windows 10(正版) 屏幕尺寸:19.5″
顯卡:集成顯卡 處理器:賽揚四核
內存:8GB 硬盤:256GB固態硬盤
2. 真空吸附樣品臺(升級):
用于晶圓樣品固定,防止測試取放時滑落
3. 微量進樣器(增購):¥元/支
10μl、50μl、100μl、250μl選擇