超聲波掃描顯微鏡是一種實用性的無損檢測工具。該產品主要利用高頻的超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能。因此,被廣泛應用于半導體器件及封裝檢測、材料檢測、IGBT功率模組產品檢測等場合。
應用領域:
■ 半導體器件及封裝檢測:
分立器件(IGBT/SiC)、陶瓷基板、塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊等。
■ 材料檢測:
陶瓷、玻璃、金屬、塑料、焊接件、水冷散熱器等。
■ IGBT功率模組產品檢測:
實現 IGBT 模塊內部界面和結構缺陷的無損檢測,在進行功率循環后,通過SAM測試,準確找到 IGBT 模塊材料、焊料層,打線等工藝中出現的問題,篩選不合格產品,并促進 IGBT 模塊的封裝質量提升。